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更新时间：2024-01-04 
浏览次数：411德国sonosys超声波清洗
应用兆声波的一个重要优势是能够顺利清洁极其脆弱的微结构。左图显示显微结构已被40 kHz超声
波频率的高空化能量破坏。被破坏的山脊厚度约为。4微米。在 1 MHz 超声波频率下，微观结构保
持不变（右图）。
破坏了脆弱的微观结构约。200 µm 高，以 40 kHz 频率开发。 | 未损坏的易碎微观结构，高 400 µm，以 1 MHz 频率开发。 |
当通过 X 射线光刻生产微结构时，致密和深层结构的无残留开发尤为重要。
在高纵横比的微结构（例如LIGA技术）的开发过程中，由于产生的微流，颗粒被完的全冲走，开发时
间缩短了7倍。对于脆弱的结构，结构的深度可以增加 2 倍。
在没有兆声波支持的情况下开发的微观结构 | 在兆声波支持下开发的微观结构 |
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