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2024-09-18 2024-09-18 2024-09-06 2024-09-06 2024-09-04 日本yako-sangyo 半导体气体扩散器SUS316L气体扩散器是主要防止负载锁定室向大气开放时晶圆等受到污染、缩短排气循环时间、提高系统吞吐量的扩散器。 ?元件部分SUS316L ?也可用于高温应用。 ?尺寸紧凑，可靠性高，可承受冲击和振动。
产品型号：SUS316L厂商性质：经销商更新时间：2024-08-30访 问 量：93
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日本yako-sangyo 半导体气体扩散器SUS316L
气体扩散器是主要防止负载锁定室向大气开放时晶圆等受到污染、缩短排气循环时间、提高系统吞吐量的扩散器。
?元件部分SUS316L
?也可用于高温应用。
?尺寸紧凑，可靠性高，可承受冲击和振动。
气体扩散器概述
1.流量范围广，从 6 到 300 SLPM。
2.与高纯度半导体气体兼容。
3.3 纳米颗粒过滤功能可保持高流动效率，同时最大限度地减少压降。
4.5Ra 电解抛光表面可防止内部污染。
5.为了满足半导体工艺标准，我们在用去离子水清洗后用高温氮气进行烘烤。
日本yako-sangyo 半导体气体扩散器SUS316L
气体扩散器是主要防止负载锁定室向大气开放时晶圆等受到污染、缩短排气循环时间、提高系统吞吐量的扩散器。
?元件部分SUS316L
?也可用于高温应用。
?尺寸紧凑，可靠性高，可承受冲击和振动。
气体扩散器概述
1.流量范围广，从 6 到 300 SLPM。
2.与高纯度半导体气体兼容。
3.3 纳米颗粒过滤功能可保持高流动效率，同时最大限度地减少压降。
4.5Ra 电解抛光表面可防止内部污染。
5.为了满足半导体工艺标准，我们在用去离子水清洗后用高温氮气进行烘烤。
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