服务热线：15766191432产品到哪里，服务到哪里 !
products category
Related articles
2024-09-18 2024-09-18 2024-09-06 2024-09-06 2024-09-04 日本horiba光纤型高温磷酸浓度计 CS-620F在 3D NAND 制程中，沉积几十层二氧化硅和氮化硅，并使用高温磷酸选择性地刻蚀氮化硅层。在该制程中，通过控制化学药液的浓度和温度，可以获得期望的刻蚀速率。成熟型号很难测量高温化学药液，但 CS-620F 能够在高达 170℃ 的高温下进行测量。使用吸收光谱进行连续测量，与其他方法相比，需要的维护和耗材更少。
产品型号：CS-620F厂商性质：经销商更新时间：2024-08-28访 问 量：73
立即咨询
联系电话：
| 品牌 | 其他品牌 | 产地 | 进口 |
|---|
日本horiba光纤型高温磷酸浓度计 CS-620F
在 3D NAND 制程中，沉积几十层二氧化硅和氮化硅，并使用高温磷酸选择性地刻蚀氮化硅层。在该制程中，通过控制化学药液的浓度和温度，可以获得期望的刻蚀速率。成熟型号很难测量高温化学药液，但 CS-620F 能够在高达 170℃ 的高温下进行测量。使用吸收光谱进行连续测量，与其他方法相比，需要的维护和耗材更少。
主要特征：
可测量高达 92% 的高浓度磷酸
无需冷却机制和冷却时间。
无需冷却循环管路中的高温磷酸（140 至 170℃），可直接测量。
样品使用PFA接触，以降低污染风险。
采用每半年一次的背景校正周期，有助于显著减少机台?；奔?。
每3秒更新一次测量数据，有助于更快速使用浓度反馈进行控制
日本horiba光纤型高温磷酸浓度计 CS-620F
在 3D NAND 制程中，沉积几十层二氧化硅和氮化硅，并使用高温磷酸选择性地刻蚀氮化硅层。在该制程中，通过控制化学药液的浓度和温度，可以获得期望的刻蚀速率。成熟型号很难测量高温化学药液，但 CS-620F 能够在高达 170℃ 的高温下进行测量。使用吸收光谱进行连续测量，与其他方法相比，需要的维护和耗材更少。
主要特征：
可测量高达 92% 的高浓度磷酸
无需冷却机制和冷却时间。
无需冷却循环管路中的高温磷酸（140 至 170℃），可直接测量。
样品使用PFA接触，以降低污染风险。
采用每半年一次的背景校正周期，有助于显著减少机台?；奔?。
每3秒更新一次测量数据，有助于更快速使用浓度反馈进行控制
您的位置：
在线咨询
返回顶部