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EC-80P是由日本Napson公司推出的手持式涡电流非接触式量测设备。
2023-11-27 
napson探头测量仪 电阻计 热电阻 电阻测量机WS-3000的介绍可安装 4 种探头的探头更换机构无需为每个测量样品更换探头。通过双模式高精度测量高达 1mm 的边缘高速测量带来的成本优势FOUP 装载口，兼容 GEM/SECS
产品型号：WS-3000厂商性质：经销商更新时间：2023-04-15访 问 量：354
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napson探头测量仪 电阻计 热电阻 电阻测量机WS-3000的介绍
napson探头测量仪 电阻计 热电阻 电阻测量机WS-3000的介绍
可安装 4 种探头的探头更换机构无需为每个测量样品更换探头。
通过双模式高精度测量高达 1mm 的边缘
高速测量带来的成本优势
FOUP 装载口，兼容 GEM/SECS
半导体及太阳能电池材料（硅、多晶硅、SiC等）
导电薄膜相关（金属、ITO等）
扩散样品
硅基外延、离子注入样品
其他（*请联系我们）
12英寸
（选项；200mm组合使用）
[薄层电阻] 1m 至 10MΩ/sq
4探针半自动玻璃基板薄膜测量仪
XY轴机构台
面内多点测量，均匀间距或随机间距设置选择，配备2-D/3-D绘图软件
半导体及太阳能电池材料（硅、多晶硅、SiC等）
新材料/功能材料（碳纳米管、DLC、石墨烯、银纳米线等）
导电薄膜相关（金属、ITO等）
扩散样品硅基薄膜（LTPS等）、IGZO
硅基外延、离子注入样品
化合物半导体（GaAs、Epi、GaN、Epi、InP、Ga等）
其他（*请联系我们）
最大300×300mm（可选；最大500×500mm）
[电阻率（比电阻）] 1 m 至 200 Ω cm
[薄层电阻] 1 m 至 1,000 k Ω/sq（选项；高达 10 M Ω/sq
具有大电阻测量范围的 4 探头测量仪
用于圆形/方形测量的测量模式可编程和映射软件
自检功能、厚度/周边位置/温度校正功能（针对硅）
根据电阻范围从 2 种类型的测试仪中选择
(RT-3000(S)：宽测量范围，RT-3000(H)：高电阻测量范围)
半导体及太阳能电池材料（硅、多晶硅、SiC等）
新材料/功能材料（碳纳米管、DLC、石墨烯、银纳米线等）
导电薄膜相关（金属、ITO等）
扩散样品
硅薄膜（LTPS等）、IGZO
硅基外延、离子注入样品
其他（*请联系我们）
~8 英寸或 ~156x156mm
?选项（用于大直径尺寸：型号 RG-3000）：最大 12 英寸，最大 210 x 210 毫米
①RT-3000(S);
[电阻率(电阻率)] 100μ~1MΩ?cm
[方块电阻] 1m~10MΩ/sq
②RT-3000(H);
[方块电阻] 10m~1GΩ/sq
4探针半自动玻璃基板薄膜测量仪
XY轴机构台
面内多点测量，均匀间距或随机间距设置选择，配备2-D/3-D绘图软件
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