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ulvac-kiko 高速光谱椭偏仪

ulvac-kiko 高速光谱椭偏仪UNECS?Portable
UNECS系列是可以高速、高精度测量薄膜膜厚和折射率的分光椭偏仪。
采用特的测量方式，实现了高速测量和机体的小型化。

  • 产品型号：UNECS?Portable
  • 厂商性质：经销商
  • 更新时间：2023-04-11
  • 访  问  量：567
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品牌其他品牌产地国产

ulvac-kiko  高速光谱椭偏仪UNECS?Portable

ulvac-kiko  高速光谱椭偏仪UNECS?Portable


UNECS系列是可以高速、高精度测量薄膜膜厚和折射率的分光椭偏仪。
采用特的测量方式，实现了高速测量和机体的小型化。
我们的产品阵容包括特的便携式，自动式和对应真空环境的设备内置式类型。
UNECS-Portable，测量部的重量只有2.2kg重量轻且紧凑，是易于携带的便携式类型。
可用于真空设备现场验收试验，可以通过分离样品台直接放在样品上进行大尺寸样品的测量。

特点

  • 高速測定：
    独的快照方法可实现高达20 ms的高速测量。

  • 适用于可见光谱：
    波长范围可选标准类型（530nm至750nm）和可见光谱类型（380nm至760nm）。

  • 紧凑型传感器单元：
    光发射和接收的传感器仅由没有旋转机构的光学部件组成，因此非常轻且紧凑，并且不需要定期维护。

  • 丰富的产品阵容：
    产品阵容应用广泛，包括如独的便携类型，手动/自动平台类型，大型基板类型，以及支持大气/真空环境的内置类型。

用途

  • 透明或半透明薄膜（氧化膜，氮化膜，抗蚀剂，ITO等）的膜厚，折射率，消光系数的测量

规格

波长范围530 ～ 750nm、380 ～ 760nm（选择）
点径Φ1mm、Φ0.3mm（选择）
入射角度70o固定
膜厚再现性1σ = 0.1ｎｍ
膜厚范围1nm ～ 2μｍ
测量时间受光：20ms ～ 3000ms　演算：300ms
平台固定类型（Φ150mm以下、可拆卸）
控制PC笔记本类型（带操作/分析软件）
机器构成测量本体（带固定台）、控制器BOX、光源单元
操作PC（笔记本型）、使用说明书（CD）


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