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shinko-seiki升空工艺蒸发设备 沉积设备 蒸发颗粒设备AAMF-C1650SBR剥离工艺专用气相沉积设备，其应用范围正在扩大。蒸发颗粒的高垂直度和基板水冷机制的采用?；ち丝故醇敛⒈３至司傅耐及浮?/p>
产品型号：AAMF-C1650SBR厂商性质：经销商更新时间：2023-04-11访 问 量：445
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| 性能 | 其他 | 材质 | 其他 |
|---|---|---|---|
| 驱动方式 | 其他 | 流量 | 01m3/h |
shinko-seiki升空工艺蒸发设备 沉积设备 蒸发颗粒设备AAMF-C1650SBR
shinko-seiki升空工艺蒸发设备 沉积设备 蒸发颗粒设备AAMF-C1650SBR
剥离工艺专用气相沉积设备，其应用范围正在扩大。
蒸发颗粒的高垂直度和基板水冷机制的采用?；ち丝故醇敛⒈３至司傅耐及?。
这是一种恒温皮拉尼真空计，利用灯丝丝在真空中因压力波动而产生的温度变化。该模型以其准确性和易用性而著称。有面板型和便携型。
【常用规格】
?液压油为Neovac SX（SH-704）或Lion A
?液压油为DC-705时，极限压力为4×10 -6
Pa，功率 增加20%~ 45%
?油蒸汽回流为7×10 -7至2×10 -8 g/min?cm 2以下
[特点]
?优秀的排气特性。
?操作简单，维护方便。
·长寿。
?小型、低振动。
?可以获得干净的真空。
- 使用安全的卧式。
【选择后级泵时】
机械增压泵不是可以压缩排气到大气压的泵。性能还取决于下游泵的型号和性能。因此，在配置使用机械增压泵的排气系统时，需要针对所需用途选择最合适的后级泵。
?选择排气量为1/2～1/10的泵。
连续工作压力较高时
选用大容量泵，连续工作压力较低时选用小容量泵。
?利用油旋泵和水环泵的性能特点，在高真空运行时采用油旋泵作为后级泵，在低真空抽大量可凝性气体时采用水泵。真空
，请选择密封泵。
【结构】
两个平衡的茧形转子固定在两个平行轴上，由电动机驱动。
随着转子的旋转，从进气口进入的气体被限制在机壳与转子之间的空间内，并
通过排气口不断排出，有效地形成真空。?主要材质为铝等，实现了轻量化。
? 采用磁力联轴器，可在大气压下运行，排气时间可缩短约50%。(DM型)
SMB-C06M型采用磁力耦合器，可从大气压驱动。
【结构】
两个平衡的茧形转子固定在两个平行轴上，由电动机驱动。
随着转子的旋转，从进气口进入的气体被限制在机壳与转子之间的空间内，并
通过排气口不断排出，有效地形成真空。?主要材质为铝等，实现了轻量化。
? 采用磁力联轴器，可在大气压下运行，排气时间可缩短约50%。(DM型)
SMB-C06M型采用磁力耦合器，可从大气压驱动。
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