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更新时间：2024-08-08 
浏览次数：43日本takano 晶圆视觉检测设备Vi系列
我们高速、高精度地检查晶圆布线图案、裂纹、异物污染等产品外观。
●产品信息
Vi-4207R、C Vi-4307M，C Vi-5301M
晶圆尺寸 ～200毫米 ～300毫米 ～300毫米
处理 机器人 机器人 机器人
装载机 打开盒式磁带 开放式盒式磁带、FOUP、FOSB
缺陷尺寸(μm) 1.2/ 2.4/5.0（物镜10x/5x/2.5x）
尺寸 W2280xD1140xH2060 W2280xD1140xH2060 宽2600x深1440x高1790
重量 1650公斤 1700公斤 2800公斤
应用 CMOS图像传感器、功率器件、RF滤波器、MEMS、玻璃、TAIKO晶圆
●区域分类根据器件图案的特征实现多种检测灵敏度和容差。
●每个区域都可以有检查参数。
●灰度检测无法检测到的缺陷可以通过彩色检测来检测。
●各种光的组合使看不见的缺陷变得可见。
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