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ADTEC Plasma Technology高周波射频电源TXR、AX系列的产品介绍

更新时间：2024-05-21      浏览次数：83

ADTEC Plasma Technology 产品

高周波射频电源

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  • 设计可承受高反射高耐用的具有高信赖度的产品

  • 提供降低成本的产品

  • 安装了最新的CPU
    （高速响应性能UP）

  • 支持新的通讯方式
    （可对应EtherCAT）


自动匹配阻抗设备

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  • 可实现高速自动整合

  • 监视史密斯圆图上的腔室阻抗

  • 使用专用软件实时显示，
    行波，反射波电力功率等

IDX产品

直流电源

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  • 可在一台电源上实现多种输出模式
    可实现可变Duty的双极输出
    可实现直流及直流脉冲方式输出

  • 搭载高速电弧遮断功能


微波电源

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  • 应用于等离子处理设备

  • 不受高电压及振动部产生的散热影响，并且设置环境也适合广大范围　



  • TXR，TXL，TXM，TXH系列

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    AX系列

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    • 可承受高反射的AB类线性AMP
      高可靠性和高耐用性设计

    • 对应300W～30kW

    • 安装了最新的CPU
      （高速响应性能UP）

    • 支持新的通讯方式
      （可对应EtherCAT）

    • 300W～对应



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