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日本理音rion支持氢氟酸的液中粒子传感器“KS-20F”

更新时间：2024-01-24      浏览次数：150

作为在最的先的进的半导体制造现场等的质量管理中支持氢氟酸溶液的液中微粒测量仪，里昂的能够测量

  药液中0.02μm粒子的液中微粒传感器“KS-20F"。


迄今为止，我们也向市场投入了测量药液中0.03μm粒子的液中粒子传感器。 但是，在最的先的进的半导

体制造工序中，进一步推进了微小工艺技术，在半导体工厂和材料、药液制造商的质量管理中，对于微小

粒子的测量的需求越来越大。 随着汽车电动化、电气产品智能化( IoT化)、ICT、AI、高速通信规格( 5G )

的普及，半导体市场持续活跃。 因此，通过开发和投入可测量药液中0.02μm粒子的液中粒子传感器，在

满足这些市场需求的同时，以大型半导体制造商为首，谋求扩大相关材料、药液制造商的订单。


基于液中粒子传感器“KS-20F"的系统构成


「KS-20F」

测量系统各产品名称:(左下)液中微粒传感器KS-20F、(左上)控制器KE-40B1、
(右)注射器采样器KZ-31W


主要特点

    1 )支持氢氟酸溶液，实现最的小的可测粒径0.02μm

    2 )可以任意地将粒径区分设定在0.02~0.08μm范围内

    3 )丰富的选项支持批量测量和在线测量

测量系统的结构示例

「KS-20F」



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