Tergeo系列台式等离子清洗机
等离子体清洗、蚀刻、表面处理
产生氧气、氩气、氮气、氢气、CF4、SF6、环境空气或其他混合气体等离子体，以灰化光刻胶、在
图案化后去渣、蚀刻二氧化硅和氮化物、去除碳氢化合物和其他表面污染物、改变表面能并提高结合
强度。Tergeo系列等离子体系统是需要在低压下操作的真空等离子体系统。枪膛直径为4.3英寸/110
毫米、6.3英寸/160毫米和9英寸/230毫米。腔体的深度为11英寸/280毫米或13.4英寸/340毫米。这
是一种低成本、高性能的实验室等离子体清洁器，建立在等离子和离子束技术组在劳伦斯伯克利国家
实验室。
Tergeo系列等离子体系统在全球学术界广的受的好的评。这两年提到太地等离子体系统的科学论文爆了！
请搜索"地球同步等离子体“上谷歌学术看看吧！这是直接链路出版物的部分列表。我们预计我们在
学术界的用户群将继续快速增长，因为我们为学术界带来了最新的等离子技术，并以可承受的价格构
建了多功能、可靠、性能可重复的等离子系统。
更新时间：2023-11-14 
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